반도체 자재 수납용기 고정장치

Fixing device for pod

  • Inventors:
  • Assignees: (주) 예스티
  • Publication Date: February 17, 2009
  • Publication Number: KR-100884013-B1

Abstract

본 발명은 반도체 자재 수납용기를 고정하기 위한 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스테이지부재에 수평 이동 체결이 가능한 클램핑부재를 설치하여 반도체 자재 수납용기를 스테이지부재에 고정하게 하는 반도체 자재 수납용기 고정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 반도체 자재 수납용기 고정장치는 반도체 자재 수납용기를 안착시키기 위한 스테이지부재와, 상기 스테이지부재의 일측에 고정되는 클램핑부재를 포함하는 반도체 자재 수납용기 고정장치로서, 상기 클램핑부재는, 상기 수납용기를 결속 및 해제하기 위한 걸림부재와, 상기 걸림부재에 회전 가능하게 고정되는 한 쌍의 연결부재와, 상기 한 쌍의 연결부재 중 어느 하나에 회전력을 전달하기 위한 구동부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라 반도체 자재 수납용기를 고정장치에 체결 시 체결을 위한 상기 걸림부재를 수평에 가까운 상태로 이동시키므로, 걸림부재의 이동을 위해 요구되는 공간을 최소화할 수 있게 되어 공간을 효율적으로 활용할 수 있는 효과를 발휘한다. 반도체, FIMS, FOUP, Pod, 웨이퍼

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Patent Citations (4)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2003243474-AAugust 29, 2003Murata Mach Ltd, Tokyo Electron Ltd, 村田機械株式会社, 東京エレクトロン株式会社Unmanned conveying cart system
    JP-2003297896-AOctober 17, 2003Hitachi Kokusai Electric Inc, 株式会社日立国際電気Semiconductor manufacturing apparatus
    KR-100269269-B1October 16, 2000김재욱, 한양기공주식회사Holding equipment of semiconductor wafer
    US-2005095098-A1May 05, 2005Tdk CorporationPod clamping unit in pod opener, pod corresponding to pod clamping unit, and clamping mechanism and clamping method using pod clamping unit

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