Stiction free ?? ???? switch and method thereof

점착현상을 방지할 수 있는 rf mems 스위치

Abstract

점착현상(stiction)을 방지할 수 있는 고주파(Radio Frequency: RF) MEMS(Micro Electro Mechanical System: MEMS) 스위치가 개시된다. RF MEMS 스위치는, 기판 상부에 서로 소정거리 이격되어 형성되며, 각각은 RF 입력단 및 출력단을 연결하는 상태에서 소정 간격 분리되어 형성된 스위칭접점부를 갖는 복수의 신호선들과, 기판 상부에 스위칭접점부 주위에 형성되며, 각각 전압이 유기되도록 형성된 복수의 전극들과, 기판 상면으로부터 소정 공간을 형성하기 위하여 복수의 신호선들 최외곽 양측에 형성된 앵커 및 앵커에 의해 지지되며, 복수의 전극들 각각에 유기된 전압에 반응하여 복수의 신호선들 중 선택적으로 스위칭접점부 양단을 연결시키도록 형성된 멤브레인을 포함한다. 이와 같은 RF MEMS 스위치는, 복수의 전극들 중 선택적으로 유기되는 전압에 따라 상기 멤브레인의 일영역이 하강하여 선택된 신호선의 스위칭 접점부 양단을 연결시키게 되며, 이때, 이전에 접촉되었던 신호선의 양단부에는 시이소오 작용에 의해 더 이상 점착현상의 발생을 방지할 수 있다. MEMS, RF, 스위치, 점착, 멤브레인, 전극, 신호선

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